半導体製造装置関連

最高レベルのクリーン環境において、高精度・高頻度で正確な運転が求められる半導体製造を支える

半導体製造装置

安全用に保持ブレーキを付けたいが、クリーン環境で使用するので粉塵の発生は排除したい。

ERS-Lタイプは空転中の摺動が無く、またバックラッシレス構造の為、粉塵の発生が無い。
クリーン環境での使用に最適で、世界のFabで豊富な実績を持ち、安心してお使いいただけます。

大気環境/真空環境で搬送を行うロボットや、半導体製造装置で薄型のダイレクトドライブモータを使用したい。

豊富なラインナップ、多様な特長を持つ製品群から提案が可能。(真空対応のダイレクトドライブモータは開発中)

300mmウエーハ真空搬送ロボット

低振動、優メンテナンス性を活かしながら、高精度なロボットアーム操作を実現。詳しくはお問い合わせください。

振動が減少

ウェーハの位置補正精度が向上

回転するチャンバーから様々な供給を行いたい。

大崎電業社のスリップリングを使用することで、回転体へ電気系(電源、制御、通信) の供給が可能。モータなどの動力供給、熱電対、コントローラ、センサ類への制御系や画像処理など光ファイバやエアロータリジョイントとのハイブリッド化なども対応可能。お客様のご要望にあわせて最適な提案をいたします。

小形光ロータリージョイント一体形 エアーロータリージョイント一体形 スリップリングユニット

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